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在激光干涉仪日益广泛地用于生产技术的同时，近来，激光直线性测量系统的发展同样起到重要作用。由于这种测量系统用激光束或光学装置作为它们的“无实体”直线性基准，使其在不同技术领域里得到广泛的应用。此外，该系统还可全自动记录和处理测量信号。
具有对称光路的激光直线性测量系统
【摘 要】
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在激光干涉仪日益广泛地用于生产技术的同时，近来，激光直线性测量系统的发展同样起到重要作用。由于这种测量系统用激光束或光学装置作为它们的“无实体”直线性基准，使其在不同技术领域里得到广泛的应用。此外，该系统还可全自动记录和处理测量信号。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1984年21期
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