【摘 要】
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综述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）技术制备ＺｎＳ∶Ｍｎ交流薄膜电致发光（ＡＣＴＦＥＬ）器件的发展历史及研究现状，对各种改进技术和使用的源材料进行了比较，并指出进一步的研究方向。
The development
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所，中国科学院激发态物理开放研究实验室
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综述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）技术制备ＺｎＳ∶Ｍｎ交流薄膜电致发光（ＡＣＴＦＥＬ）器件的发展历史及研究现状，对各种改进技术和使用的源材料进行了比较，并指出进一步的研究方向。
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