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介绍了如何使用基于粗糙集理论数据挖掘技术，对生产线的生产率和成品率进行快速的预测。在出现产量突然降低时，使用统计分析方法迅速找到使其降低的主要原因，然后就可对其采取有效的措施，从而满足高产量的要求。
数据挖掘在芯片生产过程数据分析中的应用
【摘 要】
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介绍了如何使用基于粗糙集理论数据挖掘技术，对生产线的生产率和成品率进行快速的预测。在出现产量突然降低时，使用统计分析方法迅速找到使其降低的主要原因，然后就可对其采取有
【机 构】
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同济大学控制科学与工程系,机械制造系统工程国家重点实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年1期
【基金项目】
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973项目（20002CB312202-03）,国家自然科学基金资助项目（60374005,60343002）
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