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碳化硅又称金刚砂,主要由石英砂、石油焦等原料通过电阻炉炼制而成,是一种高强度、耐磨削、耐高温、耐腐蚀的无机材料,具有高热导率、高化学稳定性、宽带隙以及高电子迁移率等优良的性能,在机械、电子、新材料等领域有着广泛的应用[1-4]。碳化硅中的总碳含量是评价碳化硅性能的主要指标之一,不同领域中对其含量都有明确规定[5-6]。目前测定碳化硅中总碳含量的方法主要有燃烧重量法[7-9]、