BST薄膜高介电调谐率和低介电损耗的设计

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钛酸锶钡(BST)薄膜显著的介电非线性效应归因于Ti^4+偏离氧八面体中心的位移。从BST薄膜的相变行为出发,讨论影响介电性的3种因素,即组分、电极材料和薄膜厚度,以期保持BST薄膜高介电调谐率的同时,获得低介电损耗,为最大限度地提高BST微波移相器的性能提供可能。
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