【摘 要】
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对多层RAM结构进行电磁散射计算时，为了获得精确的计算结果，需要对每层RAM进行精细网格划分，这将大大增加网格数量和计算规模。为此，本文结合曲边四边形矢量单元，应用按层积分方法
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对多层RAM结构进行电磁散射计算时，为了获得精确的计算结果，需要对每层RAM进行精细网格划分，这将大大增加网格数量和计算规模。为此，本文结合曲边四边形矢量单元，应用按层积分方法进行单元计算，以单层整体建模代替多层建模，大幅度减少了网格数量，降低了计算规模。通过算例证实了这种按层积分矢量单元方法计算精度高，具有较好的工程应用价值。
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