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本文采用反应沉积－固相外延法制备β－ＦｅＳｉ２薄膜。不同温度及持续时间的后退火处理的Ｘ射线衍射分析表明降低衬底温度，延长退火时间可以提高样品晶体质量。利用卢瑟福背散射方法研究了β－ＦｅＳｉ２的形成过程中的Ｓｉ的扩散，探讨了退火形成β－ＦｅＳｉ２的形成机制。
退火条件对β—FeSi2形成的影响
【摘 要】
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本文采用反应沉积－固相外延法制备β－ＦｅＳｉ２薄膜。不同温度及持续时间的后退火处理的Ｘ射线衍射分析表明降低衬底温度，延长退火时间可以提高样品晶体质量。利用卢瑟福背散射方法研究了β
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所信息功能国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1995年10期
【基金项目】
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上海市重大自然科学基金
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