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在对Bolometer器件进行理论分析的基础上,设计并研制了超导薄膜红外探测器。经后抛光将芯片的衬底减薄,在液氮温度下,系统观测了器件的红外特性,最好的结果为噪声等效功率NEP(500,10,1)=3.8×10^-^2WHz^-^1^/^2,归一化探测率D=1.7×10^1^0cmH21/2W-1,响应度Rv-3312VW^-^1,响应度Rv=3312VW^-^1。器件经过十多次的冷热循环,并在室