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利用 HF 酸处理提高石英玻璃355nm 激光诱导损伤阈值，通过优化 HF 溶液浓度以及石英玻璃表面的酸处理时间，石英玻璃的透过率和损伤阈值均有所提高，均随 HF 酸浓度以及酸处理时间的增加呈现先增加后下降变化。实验结果表明质量分数10％的 HF 浓度刻蚀60 min 后石英玻璃的激光损伤阈值为15．17 J/cm2，相比酸处理前提高了167．5％。对比分析了相同激光能量密度作用下有无 HF 酸处理石英玻璃表面损伤面积变化，最后给出了 HF 酸处理提高石英玻璃的激光诱导损伤阈值机制。