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通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪检测铝诱导非晶硅薄膜的场致固相晶化的情况,分析了电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化的影响．
电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化影响浅析
【摘 要】
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通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪检测铝诱导非晶硅薄膜的场致固相晶化的情况,分析了电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化的影响．
【机 构】
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韩山师范学院物理与电子工程系
【出 处】
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韩山师范学院学报
【发表日期】
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2007年3期
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