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随者微电子、宇航、超导、激光、核能、传感技术及太阳能利用等现代科学技术的发展和工业自动化的需要，材料的表面改性技术发展很快。气相沉积则是其中发展最快的技术之一。它适合于制备超硬、耐蚀、抗氧化、超导、光敏、热敏、磁记录、信息存储，光电转换、太阳能吸收等备种功能。性涂层，也可用于备种装饰涂层。
气相沉积技术
【摘 要】
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随者微电子、宇航、超导、激光、核能、传感技术及太阳能利用等现代科学技术的发展和工业自动化的需要，材料的表面改性技术发展很快。气相沉积则是其中发展最快的技术之一。它
【机 构】
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北京联合大学机械工程学院
【出 处】
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表面工程
【发表日期】
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1991年1期
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