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介绍了偏振差分反射光谱的原理，并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源，总结了偏振差分反射光谱作为一种重要的表面、界面分析技术在半导体材料研究中的应用，并分析指出其在Si基材料电光改性研究中将会起到重要作用。
偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性
【摘 要】
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介绍了偏振差分反射光谱的原理，并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源，总结了偏振差分反射光谱作为一种重要的表面、界面分析技术在半导体材料研究中的应用，并分析指出其在
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院电子学研究所
【出 处】
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光谱学与光谱分析
【发表日期】
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2006年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金(60336010,60390074,90401001);中国科学院专项计划项目(1731000500010)资助
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