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本文通过对三种类型实用磁透镜的系统研究，提出可用形状参量Ｗ＝（Ｄ２Ｄ１）／２Ｓ来表征极靴形状对其电子光学量的影响。在磁路设计良好并满足弱碱激励的条件下，若Ｗ〈０．７，极靴形状将影响电子光学参量；若Ｗ〉０．７，则影响可基本忽略。
磁透镜极靴形状对其电子光学参量的影响
【摘 要】
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本文通过对三种类型实用磁透镜的系统研究，提出可用形状参量Ｗ＝（Ｄ２Ｄ１）／２Ｓ来表征极靴形状对其电子光学量的影响。在磁路设计良好并满足弱碱激励的条件下，若Ｗ〈０．７，极靴形状将影响电子光学参量；若Ｗ〉
【机 构】
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南京大学电子科学与工程系南京210093
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1996年1期
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