CVD法制备ZrC涂层与ZrC-TaC共沉积涂层的烧蚀性能

来源 :粉末冶金材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jick85726
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摘要:采用ZrCl4-CH4-H2-Ar与ZrCl4-TaCl5-CH4-H2-Ar反应体系,用化学气相沉积(CVD)N备ZrC涂层与ZrC-TaC共沉积涂层,并对其进行氧-乙炔焰烧蚀试验研究。利用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)等分析技术对烧蚀前后ZrC与ZrC-TaC共沉积涂层的相组成及微观结构进行表征,并分析2种涂层的烧蚀机理。结果表明:ZrC涂层为细柱状晶体组织,ZrC-TaC共沉积涂层为ZrC与TaC成分周期性波动自组装多层复合结构,具有良好的组织结构可控性。经过60S氧-乙炔焰烧蚀试验
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