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基于集成电路制造的质量管控和提高在晶圆制造过程中,分析了在晶圆研发阶段运用APQP工具,结合多种质量工具,在晶圆制造阶段的早期整合应用,提升晶圆产品质量。
晶圆制造中APQP提升研发产品质量的应用
【摘 要】
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基于集成电路制造的质量管控和提高在晶圆制造过程中,分析了在晶圆研发阶段运用APQP工具,结合多种质量工具,在晶圆制造阶段的早期整合应用,提升晶圆产品质量。
【机 构】
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2020年5期
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223)
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