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针对游离磨料和固结磨料线锯切割晶片翘曲度的问题,分析了晶体切片翘曲产生的原因,总结了影响翘曲度的因素,重点阐述了线锯走丝速度、进给速度、锯丝张紧力和晶体切片厚度对翘曲度的影响,为改善晶体切片翘曲度提供了参考。
线锯切割晶片翘曲度的影响因素分析
【摘 要】
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针对游离磨料和固结磨料线锯切割晶片翘曲度的问题,分析了晶体切片翘曲产生的原因,总结了影响翘曲度的因素,重点阐述了线锯走丝速度、进给速度、锯丝张紧力和晶体切片厚度对
【机 构】
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山东大学机械工程学院,山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2018年12期
【基金项目】
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国家自然科学基金(51875322),山东省重点研发计划(2016GGX103007,2017GGX30139),中国博士后科学基金(2017M622190).
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