【摘 要】
：
介绍了电感耦合等离子(ICP)刻蚀系统的刻蚀原理,分析了电感耦合等离子刻蚀系统在刻蚀晶圆的过程中遇到的刻蚀速率和刻蚀均匀性等方面的问题,具体分析了刻蚀速率和刻蚀均匀性
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所,
论文部分内容阅读
介绍了电感耦合等离子(ICP)刻蚀系统的刻蚀原理,分析了电感耦合等离子刻蚀系统在刻蚀晶圆的过程中遇到的刻蚀速率和刻蚀均匀性等方面的问题,具体分析了刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响因素。同时,描述了设备在使用过程中经常遇到的一些故障现象,对这些故障现象发生的原因进行了详细地分析,根据分析的结果给出了故障的具体解决办法。最后,对电感耦合等离子刻蚀系统在日常使用过程中的保养和维护提出了一些建议,注重日常的保养和维护可大大降低设备的故障率。
其他文献
背景：冠心病是危害人类健康影响寿命的重要公共卫生问题之一。已有大量分子流行病学和遗传学研究显示,冠心病是一种复杂的多基因疾病,多种遗传因素和环境因素与冠心病有关,尤
背景：胶质瘤是最具侵略性的肿瘤之一。目前的证据表明,大部分的遗传风险对胶质瘤易感性起主要作用,而且胶质瘤是由多个低风险的突变共同遗传的。这些突变已经被确定,通过相关
中药作为中华民族的瑰宝,在防治人类和动物疾病方面做出了巨大贡献.但是,中药成分和结构复杂,有效成分含量较低,且人工不易合成,加之中药的人工栽培成本高、周期也长,所以很
文章从培养目标、课程体系设置、教学方式方法和培养手段等方面分析了英国高校的金融营销本科人才培养模式,归纳了其培养模式特征,在此基础上对我国高校培养金融营销本科人才
研究的后轮独立驱动电动汽车可以实现四轮转向,其中前后轮的转向分别通过传统转向和差动转向来实现。建立其动力学模型,并以传统四轮转向车辆为参考模型,设计PID控制器得到驱
<正> 大规模集成电路工艺所用的基础材料对其质量要有一定的要求。若材料中杂质含量太大,在工艺过程中由此引入的杂质会对器件产生不良影响。为了赶超世界水平,大规模集成电
贷款产品推介文本作为银行与客户沟通的媒介,在对客户做宣传的过程中起着非常重要的作用。贷款产品推介文本是银行获取潜在客户的桥梁,是银行贷款市场竞争中有效的武器,是银
运用AMPS软件,对TCO/p-a-SiC∶H/i-a-Si∶H/n-a-Si∶H/metal型非晶硅薄膜太阳电池进行了仿真研究,重点模拟和分析了电池性能参数随i层和n层厚度变化的规律。结果表明,为了获
当前,全球经济形势趋向好转,但经济增长动力仍然不足,航运市场萎靡不振,港口行业增速整体放缓,相邻港口之间的竞争日益加剧。企业若想在恶劣的竞争环境中赢得发展就必须不断
紫外线是到达地面的太阳光的一部分.20世纪以来,由于多种原因,导致平流层臭氧层变薄,因而到达地表的紫外线B(UV-B)的辐射增强,对地球生物产生严重影响.本文综述了紫外线辐射