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介绍了真空检漏的常用方式，并着重介绍了氦质谱检漏的发展方向、灵敏度分析及应用以及检漏方法，并总结了真空检漏的意义。
真空设备的检漏
【摘 要】
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介绍了真空检漏的常用方式，并着重介绍了氦质谱检漏的发展方向、灵敏度分析及应用以及检漏方法，并总结了真空检漏的意义。
【机 构】
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合肥通用机械研究院
【出 处】
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通用机械
【发表日期】
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2006年10期
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