【摘 要】
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以酒精为碳源，用热丝ＣＶＤ法对不同表面状态的Ａｌ＿２Ｏ＿３衬底进行了金刚石薄膜沉积的比较。用扫描电镜，喇曼光谱和Ｘ射线衍射等方法检测了沉积出的金刚石膜的质量。并讨论了它们对成核和生长的影
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以酒精为碳源，用热丝ＣＶＤ法对不同表面状态的Ａｌ＿２Ｏ＿３衬底进行了金刚石薄膜沉积的比较。用扫描电镜，喇曼光谱和Ｘ射线衍射等方法检测了沉积出的金刚石膜的质量。并讨论了它们对成核和生长的影响。
Using alcohol as carbon source, the deposition of diamond thin films on Al 2 O 3 substrates with different surface states was compared by hot filament CVD method. The deposited diamond films were examined for their quality by scanning electron microscopy, Raman spectroscopy and X-ray diffraction. And discuss their effect on nucleation and growth.
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