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激光刻蚀实现硅的近红外响应
激光刻蚀实现硅的近红外响应
来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zuo541018125
【摘 要】
:
美国科学家利用能提高硅电.池效率的微结构方法,拓宽硅光电探测器的光谱响应范围。这种微结构硅光电探测器的响应波长在1.31~1.55gm,可以用于许多特殊的图像领域。(Appl.Phys.Lett.8903
【作 者】
:
婷婷(编译)
【出 处】
:
激光与光电子学进展
【发表日期】
:
2006年10期
【关键词】
:
激光刻蚀
高硅
近红外
硅光电探测器
美国科学家
结构方法
光谱响应
微结构
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美国科学家利用能提高硅电.池效率的微结构方法,拓宽硅光电探测器的光谱响应范围。这种微结构硅光电探测器的响应波长在1.31~1.55gm,可以用于许多特殊的图像领域。(Appl.Phys.Lett.89033506)
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