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本发明提供一种采用热电堆红外探测器的监视系统，它包括一个材料采样区、一个红外辐射源、一个热电堆红外探测器和一个加工控制系统。其中，材料采样区用于采集材料样品；红外辐射源用于向采样区发射红外辐射；热电堆红外探测器用于接收透过采样区的红外辐射并产生与材料浓度有关的输出信号；加工控制系统用于接收来自热电堆红外探测器的输出信号，并根据该输出信号对半导体加工系统中的一个或多个加工条件进行控制。