【摘 要】
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本文基于量产的N型Topcon电池技术,在磷扩散工艺环节对磷扩工艺温度进行调整,研究不同磷扩温度下的磷杂质浓度分布,及其对多晶硅/隧穿氧化硅钝化层的影响.研究结果表明,磷扩
【机 构】
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英利能源(中国)有限公司,河北保定 071000;英利能源(中国)有限公司,河北保定 071000
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本文基于量产的N型Topcon电池技术,在磷扩散工艺环节对磷扩工艺温度进行调整,研究不同磷扩温度下的磷杂质浓度分布,及其对多晶硅/隧穿氧化硅钝化层的影响.研究结果表明,磷扩散温度适当升高有利于提高钝化效果,但温度过高时,隧穿氧化硅层又会被破坏,导致背面方阻迅速降低,背场钝化作用大幅减弱.在Topcon电池的制作过程中,针对不同的多晶硅层厚度,寻找适当的磷扩散温度有利于提高Topcon电池的转换效率.
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