铈、铽和铥的溅射产额模拟及溅射公式的参数

来源 :内蒙古民族大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiangmingjie

【摘要】

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简单介绍了Sigmund的理论和一些基于此理论的其它经验公式,描述了YAMAMURA半经验公式的发展过程.采用ACAT模拟程序和YAMAMURA半经验公式模拟和计算了铈、铽和铥等的溅射产额,

【作者】

：

金木其乐李之杰

【机构】

：

内蒙古民族大学物理与电子信息学院

【出处】

：

内蒙古民族大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2012年01期

【关键词】

：

ACAT程序溅射产额入射能量 YAMAMURA半经验公式

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简单介绍了Sigmund的理论和一些基于此理论的其它经验公式,描述了YAMAMURA半经验公式的发展过程.采用ACAT模拟程序和YAMAMURA半经验公式模拟和计算了铈、铽和铥等的溅射产额,并对两种结果进行了对比和分析.由分析结果估计了YAMAMURA半经验公式计算铈的经验参数,采用该参数的公式计算和模拟进行了比较,结果符合的很好.

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