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对某单片微波集成电路上机工作17个月后在客户端使用时频响不良的原因进行了研究。利用外观检查、X-ray测试、I-V特性曲线测试和声学扫描检查等手段对该单片微波集成电路的失效原因进行了具体的分析。通过测试发现样品的失效模式为漏电,内部芯片表面可见钝化层破损,因此推测样品失效与ESD损伤或沟道退化有关。