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目前单晶炉设备全自动控制技术日趋成熟。单晶硅炉拉晶生长过程中,炉体内的真空度稳定性是一个重要的环节。质量流量控制器MFC对于维持单晶炉内真空值起着极其重要的作用。
MFC在单晶炉上控制氩气流量的应用
【摘 要】
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目前单晶炉设备全自动控制技术日趋成熟。单晶硅炉拉晶生长过程中,炉体内的真空度稳定性是一个重要的环节。质量流量控制器MFC对于维持单晶炉内真空值起着极其重要的作用。
【机 构】
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沈阳鹭岛电子有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2011年4期
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