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<正> 前言 本文详细地叙述(111)、(100)取向硅单晶片最佳划片方位的选择方法和定向方法,介绍了我厂在硅单晶园片上表示最佳划片方位的具体操作步骤和生产实用情况。硅单晶片上最佳划片方位的标示将使管芯或电路能在片子上合理布局,可获得最高的片子利用率。
半导体硅片的最佳划片方位
【摘 要】
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<正> 前言 本文详细地叙述(111)、(100)取向硅单晶片最佳划片方位的选择方法和定向方法,介绍了我厂在硅单晶园片上表示最佳划片方位的具体操作步骤和生产实用情况。硅单晶片
【机 构】
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长春半导体厂
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1977年01期
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