静电放电测试仪低气压控制系统设计与研究

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为了在静电放电测试仪中定量研究不同气压对非接触静电放电的影响,以STM32为核心设计了低气压自动控制系统,包含LCD、触摸屏、信号采集、驱动电路等硬件模块。分析控制系统的数学模型,针对系统非线性、时变性的特点设计以自适应模糊PID为核心的控制算法。由于控制系统的执行元件质量流量控制器输出受限易产生积分饱和,采用遇限削弱积分法对控制算法进行改进。通过Malab对改进后的自适应模糊PID和PID的控制过程进行仿真,结果表明自适应模糊PID控制具有更好的动态性能。
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