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纳米级长度扫描电镜测量的现状和展望
纳米级长度扫描电镜测量的现状和展望
来源 :上海计量测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户:okey100
【摘 要】
:
1前言“纳米科技”是20世纪80年代末快速崛起的一门新兴学科,由于它的发展前景广阔,实用价值较大,引起了世界各国的重视,成为科技界争相研究的领域。我国政府和科研机构都积极支
【作 者】
:
张训彪
卢德生
邓保庆
桂娟
【机 构】
:
上海爱建纳米科技发展有限公司,同济大学,上海理工大学
【出 处】
:
上海计量测试
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
纳米
测量
标准器具
测量仪器
测量方法
扫描电镜
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1前言“纳米科技”是20世纪80年代末快速崛起的一门新兴学科,由于它的发展前景广阔,实用价值较大,引起了世界各国的重视,成为科技界争相研究的领域。我国政府和科研机构都积极支持和发展纳米科技。
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