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基于位姿调整的晶圆传输机械手运动学和动力学分析
基于位姿调整的晶圆传输机械手运动学和动力学分析
来源 :化工自动化及仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tmd632
【摘 要】
:
搭建位姿可调整的晶圆传输机械手平台,通过对自由度的分析,验证该机械手满足晶圆传输要求的平动和转动。建立运动坐标系,并进行运动学分析,然后建立该机械手的运动学方程。基
【作 者】
:
龚永佳
宋芳
【机 构】
:
上海工程技术大学工程实训中心
【出 处】
:
化工自动化及仪表
【发表日期】
:
2017年12期
【关键词】
:
传输机械手
位姿调整
晶圆
运动学分析
动力学分析
【基金项目】
:
国家青年科学基金项目“基于微结构阵列的高摩擦低粘附晶圆高效传输机理与主动控制方法的研究”(51505273)
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搭建位姿可调整的晶圆传输机械手平台,通过对自由度的分析,验证该机械手满足晶圆传输要求的平动和转动。建立运动坐标系,并进行运动学分析,然后建立该机械手的运动学方程。基于拉格朗日方法进行动力学分析,推导并建立动力学数学模型,并验证动力学模型的准确性。
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