【摘 要】
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为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO2)薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO2膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO2膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO2膜钝化层厚度对膜层间的粘性、传播损耗、自身的质量负载及谐振峰处的频率均有影响,且会引起过渡带宽发生变化。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十六研究所
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为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO2)薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO2膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO2膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO2膜钝化层厚度对膜层间的粘性、传播损耗、自身的质量负载及谐振峰处的频率均有影响,且会引起过渡带宽发生变化。
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