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最近,由中国科学院力学所承担的“真空薄膜沉积系统”项目组研制成功一套多源电子束物理气相沉积系统(IMCAS-MEBPVD),在大面积(6in)沉积薄膜厚度均匀性以及薄膜材料的介电特性等方面取得成果,其综合性能达到先进水平,在若干点上有重要创新,拥有多项先进技术的自主知识产权。近日“真空薄膜沉积系统”成功通过有关方面的验收。