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本文采用正籽晶、平置小内径线圈工艺成功地制备了φ76.2mmFZ〈100〉晶向单晶硅,研究了单晶生长机理与工艺。产品纯度高、质量好,加工性能优于同类产品,已日益得到广泛应用。
φ76.2mm区熔〈100〉单晶硅的研制
【摘 要】
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本文采用正籽晶、平置小内径线圈工艺成功地制备了φ76.2mmFZ〈100〉晶向单晶硅,研究了单晶生长机理与工艺。产品纯度高、质量好,加工性能优于同类产品,已日益得到广泛应用。
【机 构】
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洛阳单晶硅厂,洛阳单晶硅厂
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1991年4期
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