研究In0.82Ga0.18As/InP的临界厚度

来源 :海南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yakataxxxx

【摘要】

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根据Matthew-Blakeslee和People-Bean的临界厚度理论,利用牛顿迭代公式,使用计算机模拟出高In组分InxGa1-xAs临界厚度的数值解,得出理论上的In0.82Ga0.18As临界厚度.使用低压

【作者】

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张铁民缪国庆孙秋孙书娟傅军符运良

【机构】

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海南师范大学物理与电子工程学院,中国科学院激发态物理重点实验室,海南师范大学图书馆

【出处】

：

海南师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2011年1期

【关键词】

：

Ga0.18As 金属有机化学气相淀积临界厚度In0.82 In0.82Ga0.18As MOCVD Critical thickness

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根据Matthew-Blakeslee和People-Bean的临界厚度理论,利用牛顿迭代公式,使用计算机模拟出高In组分InxGa1-xAs临界厚度的数值解,得出理论上的In0.82Ga0.18As临界厚度.使用低压金属有机化学气相淀积（LP-MOCVD）技术,在InP（100）衬底上分别生长低于临界厚度、等于临界厚度和高于临界厚度的In0.82Ga0.18As低温层,然后在生长条件一致情况下生长In0.82Ga0.18As高温层,分析临界厚度对In0.82Ga0.18As高温层的影响.

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