溅射Cu-Cr合金微晶涂层的氧化

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采用磁控溅射法制备了不同含Cr量的Cu-Cr合金微晶涂层,并研究其在700与800℃,0.1 MPa纯氧气中的氧化.结果表明:Cu-Cr合金微晶涂层的氧化行为明显不同于普通的Cu-Cr合金,Cu-Cr合金微晶涂层氧化后均形成了连续的Cr2O3层,且含40%Cr的Cu-Cr合金微晶涂层氧化后形成了单一的Cr2O3膜,本文结合双相合金氧化的特点对实验结果进行了讨论.
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