【摘 要】
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用 XRD、光学显微镜和 TEM 观察β-SiC 在常压烧结过程中相组成和显微结构的变化,结果表明:β-SiC 在1900℃左右开始转变成α相,并随保温时间和温度的增大而增大,其中以6H-Si
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金 No.5860363 资助
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用 XRD、光学显微镜和 TEM 观察β-SiC 在常压烧结过程中相组成和显微结构的变化,结果表明:β-SiC 在1900℃左右开始转变成α相,并随保温时间和温度的增大而增大,其中以6H-SiC 多型体为主.同时,在【2000℃的温度下,晶粒没有明显生长;】2050℃以后,晶粒生长加快.最终晶粒大小可达几十μm,并成板状晶粒.TEM 观察表明,在】2050℃时,晶粒生长是各向异性的;晶界上无明显的液相或第二相存在.这些现象都说明烧结趋向于固态烧结的传质过程.同时也观察到SiO<sub>2<
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