Au,Al／a—Si：H热退火行为研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hanqianggege

【摘要】

：

本文借助改进的干涉增强喇曼散射技术、AES分析和高温金相显微镜在位观察研究了Au、Al/a-Si∶H系统的真空热退火行为.发现受金属复盖的a-Si∶H的晶化温度和其激活能均比未复

【作者】

：

金澍刘洪图赵特秀吴志强沈波许振嘉

【机构】

：

中国科学技术大学物理系,中国科学院半导体研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1989年3期

【关键词】

：

非晶硅金属诱导晶化热退火 Amorphous Silicon Metal-induced crystalization Interference enh

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文借助改进的干涉增强喇曼散射技术、AES分析和高温金相显微镜在位观察研究了Au、Al/a-Si∶H系统的真空热退火行为.发现受金属复盖的a-Si∶H的晶化温度和其激活能均比未复盖的a-Si∶H要低得多;a-Si∶H上的Al-Si互溶温度也比C-Si上的低,并且该互溶作用在350℃退火后加剧;Al诱导的a-Si∶H晶化后,在表面上有一连续的低阻Si(Al)析出层,它可Al/a-Si∶H的肖特基结转为欧姆结.

其他文献

6000伏晶闸管正向压降的计算机模拟

介绍用数值分析方法对6000V特大功率晶闸管的正向压降进行计算机模拟,对降低正向压降的途径进行计算机辅助分析的一些基本考虑和主要结果。在强调重掺杂与大注入效应的时候,

期刊

晶闸管正向降压计算机模拟ThyristorForward voltage dropComputer simulation

服务大厅建立“会、站、家”

近日，十二师三坪农场工会按照师工会“会、站、家”一体化思路，把组建工会、创办职工帮扶服务站、建设“职工之家”统一起来，在农场社区“一站式服务大厅”为职工群众提供服务窗

期刊

服务站“职工之家”一站式服务服务窗口职工群众工会一体化农场

浅析市政工程施工现场管理存在的问题与对策

随着社会经济的发展,建筑施工企业获得了很大的发展空间。施工企业在市政工程建设中所采用的施工技术更加先进,管理水平有很大的提升。针对难点问题,进行施工工艺和施工管理

期刊

市政工程施工现场管理施工技术

梁式引线肖特基混频管几何参数优化设计

利用CAD技术找出平面结构梁式引线混频管几何图形最佳尺寸,满足在特定条件下管子总电容和总电阴为最小,以提高截止频率改善器件性能.研制出的混频管在35GHz时双边带噪声系数

期刊

混频管梁式引线肖特基参数CADBeam lead diodePlanar resistor planar capacitor Cut-off

绘就幸福生活“新画卷”——“十三五”期间全省脱贫攻坚工作掠影

“延寿、拜泉、林甸、海伦、青冈,退出国家级贫困县序列。”2020年2月26日,省政府常务会议上,这5个国家级贫困县(市)摘帽退出的申请得到批复,标志着我省贫困县全部实现脱贫出

期刊

脱贫攻坚扶贫开发国家级贫困县省级贫困县贫困群众幸福生活摘帽县(市)

抓好“三秋”花场建设确保拾花工作有序开展

9月17日，随着库车县近500名维吾尔族兄弟姐妹们的到来，一师七团十五连“三秋”拾花工作全面展开。为了确保花场安全、稳定，营造“三秋”拾花火热的宣传氛围，促使连队快拾花、快交

期刊

有序兄弟姐妹维吾尔族宣传氛围库车县党支部工会

八十七团电子商务培训为职工搭建就业创业平台

12月5日，在五师八十七团综合文化楼职工培训中心，电子商务培训开班，60余名干部职工参培。

期刊

电子商务培训职工培训中心创业平台就业干部职工

提升人事档案在人资管理中作用的路径探索

随着我国市场经济体制改革的不断深化,事业单位的用工形式发生了很大改变,原来传统的人事管理已经转变成数字化的人力资源管理。人力资源管理依托于求职者全面的人事档案资料

期刊

人事档案人资管理作用

一四七团职工踊跃争当“和谐小康家庭”

2014年12月21日，笔者在八师一四七团五连看见不少职工围着“和谐小康家庭评比栏”议论着、说笑着。吸引他们的是“和谐小康家庭”的评选标准和评选结果。

期刊

家庭小康和谐职工评选标准

Si3N4膜pH—ISFET输出特性研究

通过对 pH-ISFET的长时间测量,发现器件的输出偏离 Nernst方程.提出了器件输出由快响应、慢响应和时漂三部分组成,以及器件响应与时漂数据的提取方法.证明了快慢响应的共同作

期刊

Si3N4膜ISFET输出特性

Au,Al／a—Si：H热退火行为研究

与本文相关的学术论文