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基于扫描探针显微镜的纳米加工技术研究进展
基于扫描探针显微镜的纳米加工技术研究进展
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oep
【摘 要】
:
扫描探针显微镜(SPM)纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域,其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法.文章主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法,以及机械刻蚀加
【作 者】
:
何光宏
杨学恒
【机 构】
:
重庆大学数理学院
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2005年2期
【关键词】
:
扫描探针显微镜
纳米加工
单原子操纵
阳极氧化法
机械刻蚀
Scanning probe microscope Nanofabrication Single a
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扫描探针显微镜(SPM)纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域,其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法.文章主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法,以及机械刻蚀加工等SPM纳米加工方法的机理、特点及研究进展,提出了今后需要重视的研究方向.
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