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简要介绍碳化硅的性质，制备，加工技术和它在恶劣环境下的微机电系统中的应用。
高温半导体材料碳化硅及其在微机电中的应用
【摘 要】
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简要介绍碳化硅的性质，制备，加工技术和它在恶劣环境下的微机电系统中的应用。
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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电子科技导报
【发表日期】
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1999年11期
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