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介绍了砷化镓材料和器件中高频电场的分布测量的新方法——谐波混频脉冲电光检测:它的原理、实验装置以及在砷化镓共平面波导中微波驻波场分布测量中应用的结果.在频率高达20.10GHz及开路、短路和50Ω不同的负载条件下测得的结果与理论预计值符合很好.本文最后对方法的灵敏度和空间分辨率进行讨论.