【摘 要】
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研制了一台水介质布鲁姆林线驱动被动紫外预电离放电泵浦ＫｒＦ准分子激光器，研究了其振荡和放大输出特性。在充电电压２５ｋＶ，工作气压０．２ＭＰａ，以振荡器工作方式输出激光能量近２００ｍＪ。以放大器方式工作时
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研制了一台水介质布鲁姆林线驱动被动紫外预电离放电泵浦ＫｒＦ准分子激光器，研究了其振荡和放大输出特性。在充电电压２５ｋＶ，工作气压０．２ＭＰａ，以振荡器工作方式输出激光能量近２００ｍＪ。以放大器方式工作时，注入激光脉宽２５ｎｓ，能量７０ｍＪ，放大输出达３３０ｍＪ。
An aqueous medium Bloommode line driven passive UV preionization pump KrF excimer laser was developed, and its oscillation and amplification output characteristics were studied. In the charging voltage of 25kV, working pressure 0.2MPa, the output of the laser oscillator power of nearly 200mJ. Working with an amplifier, the laser pulse width of 25ns, energy 70mJ, amplified output up to 330mJ.
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