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采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级(小于50nm)的纳米点阵和纳米柱的刻蚀.
纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究
【摘 要】
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采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2005年z1期
【基金项目】
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上海交通大学青年教师校内科研启动基金资助项目
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