基于声发射信号检测的光学元件表面加工质量监控研究

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基于声发射检测技术,通过研究磨削光学元件产生的声发射信号的频谱特征,研究其与表面粗糙度之间的关系,从而提出一种光学元件表面质量的判断方法,即一定范围内,光学元件表面质量随着声发射信号能量的增大而降低.由此获得一种快速、实时、便捷和安全的光学元件表面加工质量的检测方法,可用于光学元件表面加工质量的在线生产监控.
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