激光驱动冲击波实验用铝台阶加工与测量技术

来源 :制造技术与机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangtie123

【摘要】

：

铝台阶是激光驱动冲击波实验中的重要实验用靶零件.采用金刚石车削方式加工铝台阶,利用白光共焦光谱测量原理测量样品厚度,通过Vecco NT1100白光干涉仪测量样品表面粗糙度.测

【作者】

：

童维超袁光辉谢军李国黄燕华杜凯

【机构】

：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

【出处】

：

制造技术与机床

【发表日期】

：

2013年11期

【关键词】

：

金刚石车削冲击波铝台阶白光共焦光谱 Diamond TurningShockwaveAluminum StepChromatic Confocal Spe

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铝台阶是激光驱动冲击波实验中的重要实验用靶零件.采用金刚石车削方式加工铝台阶,利用白光共焦光谱测量原理测量样品厚度,通过Vecco NT1100白光干涉仪测量样品表面粗糙度.测量结果表明:铝台阶厚度误差小于1μm；厚度最大值与最小值相差小于0.1μm,厚度均匀性优于99.5％,样品厚度测量不确定度57 nm,铝台阶表面粗糙度值小于10 nm.

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