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通过对密封器件内部多余物的检测、提取和成分分析，总结出多余物的检测和提取方法，对各种方法的优缺点进行了评价。
密封器件内部多余物的检测与提取
【摘 要】
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通过对密封器件内部多余物的检测、提取和成分分析，总结出多余物的检测和提取方法，对各种方法的优缺点进行了评价。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2006年1期
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