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以三氯化钌和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了β-二酮前驱体—三（2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮）酸钌（Ⅲ）。通过元素分析、红外光谱、核磁共振谱、紫外-可见光谱等对其进行了表征,确定了配合物的结构组成。采用TG-DTA分析了配合物在空气和氮气中的热分解行为,为MOCVD镀钌和钌的氧化物薄膜工艺提供热力学数据与参考。