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压电微悬臂梁是一种利用压电元件的逆压电效应驱动微悬臂梁使其振动,并利用压电元件的压电效应来检测梁的变形量的集成微驱动器和微传感器.文中讨论了压电微悬臂梁中的压电元件的两种等效电路模型,并且提出了检测微压电信号的检测系统以及两种前放电路.在检测微悬臂梁频率响应特性的实验中得到了较好的结果.
压电微悬臂梁微弱压电信号检测
【摘 要】
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压电微悬臂梁是一种利用压电元件的逆压电效应驱动微悬臂梁使其振动,并利用压电元件的压电效应来检测梁的变形量的集成微驱动器和微传感器.文中讨论了压电微悬臂梁中的压电元
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2004年1期
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