（Ba0.5Sr0．5）TiO3／LaNiO3异质薄膜的介电调谐特性

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【摘要】

：

用脉冲激光沉积工艺制备（Ba0.5Sr0．5）TiO3（简称BST）薄膜和（Ba0.5Sr0．5）TiO3／LaNiO3（简称BST／LNO）薄膜。在650℃原位退火10min，获得了（100）和（110）择优取向生长的BST和BST／LNO薄膜，薄膜晶粒呈柱状

【作者】

：

熊惠芳唐新桂蒋力立陈王丽华

【机构】

：

广东工业大学物理与光电工程学院,广东工业大学实验中心,香港理工大学应用物理系

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2007年1期

【关键词】

：

脉冲激光沉积钛酸锶钡薄膜异质结构介电调谐率探测优值 pulsed laser deposition BST thin film heterostruc

【基金项目】

：

广东省自然科学基金资助项目（5001825）

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用脉冲激光沉积工艺制备（Ba0.5Sr0．5）TiO3（简称BST）薄膜和（Ba0.5Sr0．5）TiO3／LaNiO3（简称BST／LNO）薄膜。在650℃原位退火10min，获得了（100）和（110）择优取向生长的BST和BST／LNO薄膜，薄膜晶粒呈柱状结构，BST薄膜和BST／LNO异质结构薄膜的晶粒尺寸分别为150～200nm和50～80nm。在室温和1MHz条件下，BST薄膜和BST／LNO异质结构薄膜的相对介电常数和介电调谐率分别达811和58．9%、986和60．1%；用LNO作底电极，

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