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Φ125mm硅单晶的控氧技术
Φ125mm硅单晶的控氧技术
来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baby_xiaojuan
【摘 要】
:
Φ125mm硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福(北京有色金属研究总院,北京100088)关键词:硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构1引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求,需要更精确地
【作 者】
:
张果虎
常青
【机 构】
:
北京有色金属研究总院
【出 处】
:
稀有金属
【发表日期】
:
1997年5期
【关键词】
:
控氧技术
坩埚
结构
单晶硅
单晶炉
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Φ125mm硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福(北京有色金属研究总院,北京100088)关键词:硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构1引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求,需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含量及氧梯度。单晶中的氧有两方面的作...
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