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光学检测、缺陷复查系统Model AL3300用于对300mm硅片进行顶部、侧边、倾斜和底部的全方位检查。其中倾斜检测能够连续调节倾斜角度从而获得最佳的图形、缺陷检查效果。用户能够达到180片／小时的检测速度，并且可以调整设备的净化间占地面积。设备能够使用多种不同的照明波长进行宏观缺陷检测；并配有一台宏观摄像机可以自动等比例拍摄硅片图形。