影响洁净室洁净度监测的原因调查

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目的了解影响洁净室洁净度监测结果的因素。方法采用检测空气中尘埃颗粒的方法对洁净室各种动态情况下洁净度进行了监测。结果在洁净系统启动30min后,无人条件下洁净室内空气中仪器采样尘埃颗粒数为13个/次。有1人进入洁净室,空气中采样尘埃颗粒数增加到105个/次,随着进入洁净室人数增加,尘埃颗粒数有上升趋势;但在2~5人范围内,空气中尘埃粒子数不呈规律性增加。洁净室内人员走过采样口、扩胸、坐立等动作,可使洁净室内空气中尘埃颗粒数增加20倍以上。在洁净室内监测时,于采样口上风向折床单动作,可使尘埃粒子数增加60倍左右,需要10min以上才能恢复正常。结论在洁净室监测过程中监测者不同动作可对监测结果造成较大影响,洁净室内人员数量增加、折床单等操作活动均可明显改变洁净度。
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